特 点:
l 可测定零件、基板由于加热而形成的彭胀及变形
l 因为可以按照 X-Y 轴方向移动下方的激光变形计,所以实现了连续变形的测试
l 可以将温度及时间任意设定19点、在其状态下确认变位测定
l 适用用软件可以解析曲线数据
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