与传统UV光源相比， EUV灯光源所提供的特性能增加和改进紫外线在工业、化学制备及生物医药上的用途。单色的光谱及可选择特定波长的特性使得光刻工艺可以在聚焦更的方式下进行。而且不会产生额外的热效应，因为E-UV光源的频谱中不含红外线。
Excimer“准分子”是excited dimer“受激二聚物”的缩写。它本质是一对原子和一个受激发的气体原子，通常没有被束缚在基态。
（Xe Xe* = Xe2* (Excimer)）
惰性气体或惰性气体与卤素气体的混合物可形成准分子，这种准分子的状态极为短暂。在准分子分解的过程中，释放出光谱非常集中的准单色UV光。产生的UV光都是单一的光谱线，其不同带宽取决于所选择的气体。
目前，有很多种不同的准分子化合物都能产生波段在120nm到380nm的UV光。光源只提供净的UV光，光谱中不含红外线
成分。
气体放电是由高频电磁场产生的，因此不需要电极。为防止光源发热，高功率准分子光源需要和水冷系统共同运转。
分类：
1. 半导体
硅晶圆的表面清洁，表面活化，软刻蚀，预涂层处理，氧化层化学气相沉积。
2. 平板显示器
干燥清洁玻璃基板，LCD制造工序，表面活化，TFT阵列制程，cell制程，C/F表面处理。
3. 环境科技
产生臭氧，阻止空气和水污染，生产制造净水，分解含氯基的有机物。
4. 表面处理
各类树脂和金属表面活化。
EUV灯的优点：
1. 能大量输出真空紫外光：以较低的功耗输出大量真空紫外光；
2. 能够瞬时点亮，熄灭再点亮；
3. 使用高频电源的优点：通过减小电源的规格降低功耗；
4. 低功率可确保灯的使用寿命；
5. 光高分散辐射；
6. 低温发光：通过抑制灯源发热防止热损坏。
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EUV灯
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